Scientific journal
Fundamental research
ISSN 1812-7339
"Перечень" ВАК
ИФ РИНЦ = 1,674

THE INTERFACIAL ENERGY OF SOME METALS ON THE BORDER WITH SOLID SILICON

Dokhov M.P. 1
1 Kabardino-Balkarian State Agricultural University of V.M. Kokov
In the present article an attempt is made to evaluate the interfacial energy of liquid metals at the boundary with the solid silicon, based on the analysis of experimental data the surface energy of the molten silicon, obtained by different authors, using different methods and at different times. We applied a selection rule for averaging the values of the surface energy of liquid silicon, allowed to solve the problem of large scatter of experimental data, and contributed to obtaining reliable values of interfacial energy of liquid metals on the border with solid silicon. The proposed here method of calculating the interfacial energies can be used to calculate the interfacial energies can be used to calculate the interfacial characteristics to other solid-liquid systems.
surface energy
interfacial energy
contact angle
silicon
1. Dokhov M.P. Ob otnositelnykh znacheniyakh poverkhnostnykh energiy metallov v troynoy tochke // Metally. 1994. no. 2. рр. 16–21.
2. Dokhov M.P. Izmenenie mezhfaznoy energii tverdoe telo-rasplav i tverdoe telo-par v zavisimosti ot kraevogo ugla // Red. zhurnala Izv. vuzov, fizika, Tomsk: VINITI, 1985. 12 р.
3. Nizhenko V.N. Poverkhnostnoe natyazhenie zhidkikh metallov i splavov (odno i dvukh-komponentnye sistemy) / V.N. Nizhenko, L.I. Floka. Spravochnik. M.: Metallurgiya, 1981. 208 р.
4. Romanovskiy V.I. Issledovanie smachivaemosti monokristallicheskogo kremniya nekotorymi legkoplavkimi metallami / V.I. Romanovskiy, E.A. Zhemchuzhina, Z.A. Kazakevich // Poverkhnostnye yavleniya v poluprovodnikakh. Nauchnye trudy Mosk. instituta stali i splavov. M.: Metallurgiya, 1976. no. 89. рр. 41–44.
5. Khokonov Kh.B. Metody izmereniya poverkhnostnoy energii i natyazheniya metallov i splavov v tverdom sostoyanii // Poverkhnostnye yavleniya v rasplavakh i voznikayushchikh iz nikh tverdykh fazakh. Kishinev: Shtiintsa, 1974. рр. 190–261.
6. Shishkin A.V., Basin A.S. Poverkhnostnoe natyazhenie zhidkogo kremniya // Teoreticheskie osnovy khimicheskoy tekhnologii. 2004. T. 38. no. 36. рр. 699–707.

·Кремний, являясь полупроводниковым материалом, находит широкое применение при изготовлении полупроводниковых приборов: транзисторов, термисторов, фотоэлементов и др. Кремний используется также как добавка к различным сталям и другим сплавам для повышения прочности и коррозионной стойкости. Атомы кремния входят во многие кремнийорганические полимеры, кремнийорганические соединения.

На основе кремния создана телевизионная передающая трубка – термикон, который обладает высокой чувствительностью и сравнительно малой инерционностью.

Несмотря на перечисленные выше качественные показатели применимости кремния, некоторые характеристики еще неизвестны, в частности его межфазная энергия с жидкими металлами σ.

Экспериментальные данные поверхностной энергии расплава кремния σРП можно условно подразделить на две группы, включив в одну группу все величины, имеющие значения меньше 800 мДж/м2, а в другую – данные σРП больше 800 мДж/м2. До тех пор пока не будет экспериментально установлено, какие данные являются действительными значениями поверхностной энергии расплавленного кремния, не будет решена проблема поверхностной энергии твердого кремния σТП. До ответа на этот вопрос лучше вести речь только о порядке величины σТП твердого кремния или об оценке величины σТП.

В настоящей работе сделана попытка оценить межфазные энергии жидких металлов на границе с твердым кремнием, исходя из анализа представленных в работе [10] данных σРП кремния, полученных различными авторами, разными методами и в разное время. Необходимость такого анализа продиктована тем, что некоторые методы, которые в последние годы использовались исследователями для измерения поверхностной энергии расплавленного кремния, например такие, как электростатическая и электромагнитная подвески вызывают недоверие в связи с неотработанностью и отсутствием теоретического обоснования самих методов.

В недавней работе проведен обстоятельный математический анализ экспериментальных данных σРП и ΔσРП/ΔT, полученных различными авторами начиная с 1953 года. Математической обработке подверглись 26 из 27 результатов, представленных в их таблице величин σРП, т.е. за исключением результата одной работы японских авторов в которой получен температурный коэффициент поверхностной энергии ΔσРП/ΔT, расплавленного кремния, равным 0,81 мДж/(м2·К).

Нам представляется, что такой метод отбора результатов для математической обработки является некорректным, так как не учитывает ни надежности применяемого метода измерения, ни условий эксперимента (например, чистота исходного металла (полупроводника), процедура подготовки установки (вакуум или инертная среда)), а также воспроизводимости результатов и т.д.

Из 27 результатов, представленных авторами в таблице, мы отобрали 13 величин σРП и ΔσРП/ΔT кремния. При отборе результатов учитывались следующие факторы: первые 6 величин σРП таблицы, в которых не измерялись ΔσРП/ΔT, не выбраны для определения среднего значения, так как с их помощью можно было бы определить возможность включения или не включения их в список отобранных величин.

Далее, четыре результата работ, в которых ΔσРП/ΔT лежат в пределах от 0,63 до 0,81 мДж/(м2·К), не включены в число отобранных в связи с тем, что расчеты критических температур для них дали результаты меньше температур их кипений, т.е. Тс < Ткип.

В отобранный список не вошли две величины со значениями сильно выходящими из контекста σРП и две величины с очень низкими значениями ΔσРП/ΔT.

Среднее значение σРП по результатам 13 работ оказалось равным 764 мДж/м2, а средний температурный коэффициент поверхностной энергии расплава равен 0,1298 мДж/(м2·К).

В работе [1] были проведены расчеты краевых углов твердых металлов и полупроводников собственными расплавами, в том числе и для кремния. Этот угол θ1 оказался равным 39°.

Ранее нами также была составлена таблица, позволяющая по краевому углу, образуемому расплавом однокомпонентного вещества θ1 и поверхностной энергии расплава σРП, вычислять поверхностную энергию твердого тела при температуре плавления σТП [2]. Из этой таблицы для твердого кремния при температуре плавления найдем

σтп(пл) = 1,1026σРП ≈ 1,1026·764 = 842 мДж/м2.

Затем необходимо определить температурный вклад в поверхностную энергию твердого кремния σтп. Для этого требуется значение температурного коэффициента поверхностной энергии твердого кремния ΔσТП/ΔT. Найдем ΔσТП/ΔT следующим образом. В литературе имеется одно измеренное Гильманом методом раскалывания кристалла значение σТП кремния, равное 1240 мДж/м2 при температуре 78 К [5]. Взяв разность между вычисленным выше значением σТП при температуре плавления и экспериментальным значением, поделив на разность между температурой плавления 1685 К и температурой измерения σТП кремния 78 К, получим ΔσТП/ΔT кремния

ΔσТП/ΔT = (842 – 1240)/(1685 – 78) = –0,2477 мДж/(м2·К).

Зная ΔσТП/ΔT , легко привести поверхностную энергию твердого кремния к температурам измерения краевых углов, образуемых жидкими металлами на поверхности твердого кремния. Для этой цели нужно умножить 0,2477 на разность температур между температурой плавления кремния и температурой измерения θ системы жидкий металл – твердый кремний. В результате получим

ΔσТП = 0,2477·(Тпл – Т),

где Т – температура, при которой измерен краевой угол.

Прибавляя к ΔσТП величину поверхностной энергии твердого кремния при температуре плавления, имеем σтп = ΔσTП + σTП (пл).

При расчете σТЖ разнородных жидкостей и твердых тел, если σРП измерена при другой температуре по сравнению с температурой, при которой измерен краевой угол θ, то σРП также необходимо привести к той температуре, что и θ. Такая процедура перерасчетов σРП нами проведена с жидкими металлами, используя справочные данные из [3].

В качестве примера вычислим σТП и σТЖ при температуре 693 К, при которой измерен краевой угол расплава цинка на поверхности твердого кремния. Сперва найдем температурный вклад в σТП кремния ΔσТП. Для этого умножим ΔσТП/ΔТ на разность температур между 1685 и 693 К. В результате, получим

ΔσТП = 0,2477·(1685 – 693) = 0,2477·992 = 246 мДж/м2.

Прибавляя к этой величине 842, получим

dohov01.wmf

Подставляя dohov02.wmf, σРП цинка 821 мДж/м2, θ = 135° в уравнение Юнга, имеем

σТЖ = ΔσТП – σРПcos θ, (1)

где θ – краевой угол, образуемый расплавом металла на поверхности инородного твердого тела (кремния).

Подставляя в (1) все величины, получим

σТЖ = 1088 – 821 соs135 = 1088 + 821 соs45°= 1088 + 821·0,7071 = 1668 мДж/м2.

Наконец для вычисления работы адгезии жидкого металла воспользуемся формулой

WА = σрп(1 + соsθ). (2)

Для системы расплав цинка – твердый кремний получаем

WА = 821(1 + соs135°) =  821 (1 – 0,7071) = 240 мДж/м2.

Для самопроверки можно использовать также формулу

WА = σрп + σТП – σТЖ. (3)

Результаты по (2) и (3) должны быть, естественно, одинаковыми. По такой же схеме вычислены все межфазные характеристики.

В таблице приведены результаты вычислений поверхностной энергии твердого кремния σТП, межфазной энергии σТЖ и работы адгезии WА некоторых жидких металлов на границе с твердыми кремнием в зависимости от температуры. Краевые углы жидких металлов на поверхности твердого кремния (111) заимствованы из [4].

Анализ вычисленных значений σТП и σТЖ приводит к выводу, что и для контакта однокомпонентного твердого тела с собственным расплавом, и для контакта однородного твердого тела с инородной жидкостью соблюдаются одни и те же закономерности, а именно: при краевом угле меньшем π/2 σТЖ всегда меньше σТП. При θ = π/2, σТЖ = σТП ≠ σРП. При θ > π/2, σТЖ всегда больше σТП. При θ = 180° поверхностная энергия твердого тела и работа адгезии равнялись бы нулю, если бы такие большие краевые углы были возможны в природе. Следует подчеркнуть, что численные значения σТЖ и σТП в случаях однокомпонентных и разнокомпонентных систем будут различными. В связи с тем, что часть σТП, обусловленная температурным вкладом при разнородных твердо-жидких систем рассчитывается независимо от краевого угла, то это приводит к тому, что σТП и при θ = 180° может не равняться нулю. Тогда поверхностную энергию твердого тела можно разделить на две части σТП = ΔσТП + σТП. Часть поверхностной энергии, обусловленная краевым углом, будет равняться нулю, т.е. σТП = 0, а температурный вклад останется, т.е. dohov03.wmf, следовательно, даже при угле смачивания, равном 180° результирующая поверхностной энергии будет отлична от нуля. С другой стороны, при краевом угле равном нулю, часть межфазной энергии равна нулю, а часть – обусловленная температурным вкладом – также не равна нулю.

Поверхностная энергия твердого кремния и его межфазная энергия с жидкими металлами при различных температурах (мДж/м2)

Металл

T, K

θ, град

σрп

σTП

σTЖ

W

Zn

693

973

1073

135

131

130

821

748

722

1088

1018

994

1668

1509

1458

240

257

258

Ga

323

423

523

88

87

87

733

724

716

1179

1155

1130

1153

1117

1093

759

762

753

In

523

573

673

773

111

110

110

110

583

578

568

558

1130

1117

1093

1068

1339

1315

1287

1259

374

380

374

367

Sn

523

623

723

823

130

125

125

125

545

535

527

519

1130

1105

1080

1056

1480

1412

1382

1354

195

228

225

221

Pb

623

723

823

923

130

130

130

130

468

460

451

443

1105

1080

1056

1031

1406

1376

1346

1316

167

164

161

158

Ge

1263

1313

1343

40

30

23

634

629

626

946

934

927

460

389

351

1120

1174

1202

Ag

1233

0

926

954

28

1852

Al

1023

22

900

1006

172

1734

Выводы

1. Путем подбора научно обоснованных критериев отбора из двадцати семи известных в литературе работ по измерению поверхностной энергии расплавленного кремния нами выбраны тринадцать наиболее достоверных результатов, полученных различными авторами, различными методами, в разное время, и вычислено среднее значение этих величин.

2. Проведена оценка поверхностной энергии твердого кремния при температуре плавления и его температурного коэффициента.

3. С помощью полученного значения температурного коэффициента поверхностная энергия твердого кремния приводилась к температурам, при которых измерены краевые углы жидких металлов к кремнию.

4. По литературным данным углов смачивания твердого кремния жидкими металлами вычислены их межфазные энергии.

5. Показано, что межфазные энергии при θ > π/2 всегда больше, чем σРП смачивающей жидкости и σТП подложки (кремния).